—— PROUCTS LIST
一體化萬(wàn)用蒸餾儀使用方法
1、用膠管與冷凝水連接,用真空膠管與真空泵相聯(lián)。
2、先將水注入加熱槽。選用純水,自來(lái)水要放置1-2天再用。
3、調(diào)正主機(jī)角度:只要松開(kāi)主機(jī)和立柱連結(jié)螺釘。主機(jī)即可在0-45度之間任意傾斜。
4、接通冷凝水,接通電源220V/50Hz,與主機(jī)連接上蒸發(fā)瓶(不要放手),打開(kāi)真空泵使之達(dá)一定真空度松開(kāi)手。
5、調(diào)正主機(jī)高度:按壓下位于加熱槽底部的壓桿,左右調(diào)節(jié)弧度使之達(dá)到合適位置后手離壓桿即可達(dá)到所需高度。
6、打開(kāi)調(diào)速開(kāi)關(guān),綠燈亮,調(diào)節(jié)其左側(cè)旁的轉(zhuǎn)速旋鈕,蒸發(fā)瓶開(kāi)始轉(zhuǎn)動(dòng)。打開(kāi)調(diào)溫開(kāi)關(guān),綠燈亮,調(diào)節(jié)其左側(cè)旁的
調(diào)溫旋鈕,加熱槽開(kāi)始自動(dòng)溫控加熱,儀器進(jìn)入試運(yùn)行。溫度與真空度一到所要求的范圍,即能蒸發(fā)溶劑到接受瓶。
7、智能一體化蒸餾儀蒸發(fā)完畢,首先關(guān)閉調(diào)速開(kāi)關(guān)及調(diào)溫開(kāi)關(guān),按壓下壓桿使主機(jī)上升,然后關(guān)閉真空泵,并打開(kāi)冷凝器上方的放空閥,使之與大氣相通,取下蒸發(fā)瓶,蒸發(fā)過(guò)程結(jié)束。
在半導(dǎo)體制造中,使用洗滌溶液從晶片表面去除金屬和其他污染物的洗滌過(guò)程占整個(gè)工藝過(guò)程的約20%-30%。目前,洗滌溶液的更換頻率通?;谑褂脮r(shí)間來(lái)確定的。然而,近年來(lái),降低制造成本和減少環(huán)境影響的需求要求更有效地使用洗滌溶液。因此,有必要實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)污染程度。為了滿(mǎn)足這些需求,島津一直在研究LIBS技術(shù),因?yàn)?/span>LIBS技術(shù)的研發(fā)可以利用島津自身廣泛的激光光學(xué)和光譜技術(shù)優(yōu)勢(shì)蒸餾法測(cè)氨氮?的具體操作方法。 LIBS是一種可以輕松同時(shí)測(cè)量多個(gè)元素的技術(shù)。當(dāng)樣品被激光照射時(shí),它通過(guò)樣品表面的熱蒸發(fā)產(chǎn)生等離子體。該等離子體發(fā)出特征光是樣品所*的。因此,可以通過(guò)檢測(cè)所得光譜來(lái)測(cè)量元素。通過(guò)激光照射在特殊板上蒸發(fā)至干燥的樣品產(chǎn)生等離子體,然后檢測(cè)從等離子體發(fā)射的光以識(shí)別和定量樣品中包含的金屬元素。檢測(cè)限為ppm級(jí)別。該技術(shù)基于LIBS測(cè)量原理,提供世界的靈敏度水平(根據(jù)島津截至2018年7月的調(diào)查)。目前的原型機(jī)尺寸為1 m×1 m蒸餾法測(cè)氨氮的?具體操作方法,可與半導(dǎo)體晶圓清洗系統(tǒng)連接。從取樣到測(cè)量洗滌溶液的整個(gè)過(guò)程是*自動(dòng)化的,并且可以在大約一分鐘內(nèi)完成12種痕量金屬組分的同時(shí)測(cè)量,例如銅、鋁和鈦。由于能夠更好地理解合適的洗滌溶液更換頻率,使得該技術(shù)的實(shí)際應(yīng)用將提供諸如提高產(chǎn)率和降低制造成本等益處。